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UV臭氧分析仪是利用臭氧在波长253.7nm紫外光中具有最大吸收度之特性,侦测臭氧在波长253.7 nm紫外光中之光强度,再根据Beer-Lambert定律可將光强度转换成臭氧浓度,经过良好的浓度追溯与仪器校正后,紫外光吸收法即可提供一快速、准确且稳定的及时臭氧浓度量測。